2016-08-16

クリーンルームなど半導体製造・研究現場では低発塵の吸音パネルをご利用ください

こんにちは、ソリューション事業部です。夏季休暇皆様どうお過ごしでしたでしょうか？私は地元に戻り初盆を過ごしました。

さて、今回は半導体系のメーカー様、研究所様より頂いているご質問に回答させていただきます。ちなみに、ここで掲載している内容は特定の企業・事案ではなく、皆様より頂いている質問を統合して回答させていただいております。

クリーンルーム内の空調の送風音やコンプレッサーの騒音問題

ここ数年のIT環境の発達に伴い、国内だけでなく海外でも半導体の研究・製造環境が求められております。半導体系は表面に塵が付着してしまうと搭載した機械そのものを故障させる恐れがあります。

こういった問題に対処すべく、空調を設置し空気中の塵を追い出すクリーンルームを設置し環境を整えます。半導体系の精度が高くなればなるほどクリーン度も求められますが、その結果、送風量が上がり必然的に送風音が問題となっていきます。

また、限られた空間に機器（コンプレッサーなど）が設置している場合も多く、機器による騒音も問題となります。

クリーンルーム内の騒音に対しては、音もさることながら発塵性の少ない防音材が検討されます。結果、絶縁体などで多用される防振ゴムなどが一般的ですが（劣化しなければ発塵が少ない）が振動に対して効果を発揮しても、空気を振動させる騒音源に対しては効果が得られません。

空気振動に対しては吸音材が有効ですが、ウレタンスポンジやグラスウールは発塵を伴いますのでクリーンルームでの使用ができません。

弊社ではこの技術課題（低発塵で吸音性能を保つ）を解決すべく、高い吸音性能と遮音性能もちながら、低発塵の吸音パネル　一人静　タイプZを開発しております。

吸音パネルだけだと使用用途が限定されますが、組み立てができるようにフレームも用意しておりますのでコンプレッサー機器の周囲に設置する事で簡易的な防音BOXや、防音パーテーションが可能になります。

吸音性能があることで、既存の壁に設置して頂いても反響音が低減し、クリーンルーム内の騒音対策にもなります。もちろん、食品製造などの衛生部分で注意しなければいけない箇所にも有効です。

発塵性を確認した実験資料もございますので、現在御検討の方がおりましたら是非お問い合わせくださいませ。